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DVD9铝层的溅镀工艺探讨

DVD9由两片不同的基片组成，两片基片都有各自的溅镀层，这两层被分别称为DVD9的0层和1层（图1）。在DVD播放机中0层靠近播放机激光读取头，因此0层必须是半反射层，这样读取激光束才能穿透0层到达1层。1层像CD一样是全反射层，它也是用铝做溅镀层。DVD9的半反射层通常是金或硅做溅镀层, 虽然在理论上，也可以用铝溅镀半反射层，但在目前实际生产中是行不通的。

DVD9和CD一样有铝层，但DVD9和CD之间存在明显的不同，C哈尔滨D的读取光束穿过透明基片在铝反射层读取信息，而DVD播放机实际读取的是DVD9的1层的背面。这虽然不是一个重大的问题，但却意味着实际的坑点大小对读取激光而言会稍小一些（多少将取决于溅镀层的厚度），而这个问题需要在制作母盘时加以补偿(图2

另一个题是在整个坑点中溅镀层的厚度增加是不一致的 剥离强度实验机 ，在溅镀过程中，较多的铝会沉积在基片上平会使磨擦力增大坦的表面，即坑底和台上，而坑壁则较少，这个因数也必须加以考虑，否则电信号将会改变。

溅镀机阴极的设计也非常重要，需要进行有效的设计以减小基片上溅镀层厚度的变化，这也是DVD9和CD溅镀工艺的重要区别。对CD而言，坑壁和坑底溅镀层厚度的不同以及溅镀GBT2975⑴998钢及钢产品力学性能实验取样位置及实验制备；层整体的均匀性相对并不重要，只要有足够的铝沉积层满足反射率的要求，那么厚度只是成本的问题而不是技术问题。

0层和1层的反射率最初设定为%，但现在已降至%，因为数码打样读取激光束必须穿过0层到达1层，0层的厚度直接影响到将有多少光实际到达下一层，当读取3．摆锤扬角:90°激光束通过0层反射回播放机时，对信号的强度也有同样的影响。信号强度的衰减量不但与溅镀层厚度相关，也和所用溅镀材料的不同而随之变化。

铝的溅镀厚度沉积窗口很窄（图3），在靶材的使用寿命内，很难设计出这种阴极能达到所需的一致性，这也是为什么目灌粉机前铝不适合在生产状态下使用的原因。虽然金是非常昂贵的材料，但能提供大得多的工艺窗口（图4），氮化硅（SiN）助听器和碳化硅（SiC）也能用（其工艺窗口如图5所示）。

(待续)